高速回転基板上へのダイヤモンド合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	高速回転基板上へのダイヤモンド合成
英文:	Diamond Synthesis on a Substrate Roated at High Speed

著者

和文:	平田　敦, 横塚智人, 大槻　豊, 吉川昌範.
英文:	平田　敦, 横塚智人, 大槻　豊, 吉川昌範.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 5 pp. 671-675

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: