超伝導マグネット援用ホローカソード型プラズマCVD装置の試作

論文・著書情報

タイトル

和文:	超伝導マグネット援用ホローカソード型プラズマCVD装置の試作
英文:	Development of a Superconducting Magnet Assisted Hollow Cathode Plasma CVD Apparatus

著者

和文:	新留隆志, 岡本　理, 平田　敦, 吉川昌範.
英文:	新留隆志, 岡本　理, 平田　敦, 吉川昌範.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 12 pp. 1757-1761

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: