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論文・著書情報


タイトル
和文:粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -状態フィードバック制御,スライディングモード制御の適用- 
英文: 
著者
和文: 佐藤海二, 進士忠彦, 下河邉明.  
英文: KAIJI SATO, TADAHIKO SHINSHI, Akira Shimokohbe.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:1997年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1141
出版年月 1997年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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