Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Etching characteristics of Si1-xGex alloy in ammoniac wet cleaning 
著者
和文: 平山博之.  
英文: HIROYUKI HIRAYAMA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Applied Physics Letters 
巻, 号, ページ Vol. 57        pp. 2202-2204
出版年月 1990年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.