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論文・著書情報


タイトル
和文:CVD用高電圧極短パルスプラズマの生成維持条件 
英文: 
著者
和文: 岡崎健, 戸部了己, 安田真一, 水野彰.  
英文: 岡崎健, 戸部了己, 安田真一, 水野彰.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集(B編) 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 60    No. 573    pp. 1785
出版年月 1994年 
出版者
和文: 
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会議名称
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英文: 
開催地
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英文: 

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