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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Application of Pulsed Silent Discharge Plasma to Efficient Generation of Active Oxygen Species for SiO┣D22┫D2 CVD 
著者
和文: Ishimaru, K., Okazaki, K..  
英文: Ishimaru, K., Okazaki, K..  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. 13th International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC-13) 
巻, 号, ページ Vol. II        pp. 737-742
出版年月 1997年 
出版者
和文: 
英文:Proc. 13th International Symposium on Plasma Chemistry(ISPC-13) 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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