Control of Internal Stress of Co-Cr Film Deposited by Facing Targets Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of Internal Stress of Co-Cr Film Deposited by Facing Targets Sputtering

著者

和文:	Shigeki NAKAGAWA, Yoshitaka KITAMOTO, Masahiko NAOE.
英文:	Shigeki NAKAGAWA, Yoshitaka KITAMOTO, Masahiko NAOE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Magnetics

巻, 号, ページ

Vol. 26 No. 1 pp. 106

出版年月

1990年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: