2種の表面波の分散曲線を用いた薄膜の弾性係数,密度および膜厚の測定

論文・著書情報

タイトル

和文:	2種の表面波の分散曲線を用いた薄膜の弾性係数,密度および膜厚の測定
英文:	Measurement of Elastic Moduli, Density and Thickness of Thin Film by Dispersion Curves of Two Kinds of Surface Waves

著者

和文:	西田政弘, 前田憲一, 足立忠晴, 松本浩之.
英文:	Masahiro NISHIDA, Kenichi MAEDA, Tadaharu ADACHI, Hiroyuki MATSUMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集(A編)
英文:	Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, Series A

巻, 号, ページ

Vol. 64 No. 620 pp. 1000-1006

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: