ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマ装置の試作

論文・著書情報

タイトル

和文:	ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマ装置の試作
英文:	Development of an arc discharge plasma apparatus for high rate synthesis of diamond

著者

和文:	大竹尚登, 栗山康彦, 吉川昌範, 尾花博, 鬼頭昌之, 斎藤弘.
英文:	大竹尚登, 栗山康彦, 吉川昌範, 尾花博, 鬼頭昌之, 斎藤弘.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 55 No. 2 pp. 2163-2168

出版年月

1989年

出版者

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会議名称

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開催地

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