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論文・著書情報


タイトル
和文:ER流体応用ナノメートル位置決めテーブルシステムに関する研究 
英文:A Study on Nanometer Positioning Table System Using Electrorheological Fluid 
著者
和文: 橋詰 等, 新野 秀憲.  
英文: 橋詰 等, 新野 秀憲.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集（Ｃ編） 
英文:Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers 
巻, 号, ページ Vol. 65    No. 630    pp. 786-792
出版年月 1999年 
出版者
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会議名称
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開催地
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