Self-alignment for Microparts Assembly Using Water Surface Tension

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Self-alignment for Microparts Assembly Using Water Surface Tension

著者

和文:	Kaiji SATO, Seiichi HATA, Akira SHIMOKOHBE.
英文:	Kaiji SATO, Seiichi HATA, Akira SHIMOKOHBE.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Symposium on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems MICRO/MEMS'99, Queensland

巻, 号, ページ

Vol. 3892 pp. 321-329

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: