A cylindrical micro ultrasonic motor using PZT thin film deposited by single process hydro thermal method (D2.4 mm, L=10 mm stator transducer)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A cylindrical micro ultrasonic motor using PZT thin film deposited by single process hydro thermal method (D2.4 mm, L=10 mm stator transducer)

著者

和文:	森田剛, 黒澤実, 樋口俊郎.
英文:	T. Morita, M. K. Kurosawa, T. Higuchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Trans. Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 5 pp. 1178-1187

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: