均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ（半導体プロセスを用いたマイクロバルブの試作） | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	均一系ER流体を作動流体としたマイクロバルブ（半導体プロセスを用いたマイクロバルブの試作）
英文:

著者

和文:	吉田和弘, 菊地正晃, 横田眞一, 朴　重濠.
英文:	吉田和弘, 菊地正晃, 横田眞一, 朴　重濠.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第１７回流体計測・第１４回流体制御合同シンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 139

出版年月

1999年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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