In situ Growth Monitoring during Metalorganic Chemical Vapor Deposition of YBa2Cu3OX Thin Films by Spectroscopic Ellipsometry

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In situ Growth Monitoring during Metalorganic Chemical Vapor Deposition of YBa₂Cu₃O_X Thin Films by Spectroscopic Ellipsometry

著者

和文:	Shuu'ichirou Yamamoto, Satoshi Sugai, Yasunari Matsukawa, Akio Sengoku, Hiroshi Tobisaka, Takeo Hattori, Shunri Oda.
英文:	Shuu'ichirou Yamamoto, Satoshi Sugai, Yasunari Matsukawa, Akio Sengoku, Hiroshi Tobisaka, Takeo Hattori, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 38 pp. L632-L635

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: