Atomic Layer Metalorganic Chemical Vapor Deposition of YBa2Cu3OX with In Situ Optical Reflectance Measurement

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Layer Metalorganic Chemical Vapor Deposition of YBa₂Cu₃O_X with In Situ Optical Reflectance Measurement

著者

和文:	Shunri Oda, Hideaki Zama, Shuu'ichirou Yamamoto.
英文:	Shunri Oda, Hideaki Zama, Shuu'ichirou Yamamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 7th Topical Meeting on Crystal Growth Mechanism

巻, 号, ページ

pp. 285-290

出版年月

1994年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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