HIGH RATES AND VERY LOW TEMPERATURE FABRICATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON FROM FLUORINATED SOURCE GAS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	HIGH RATES AND VERY LOW TEMPERATURE FABRICATION OF POLYCRYSTALLINE SILICON FROM FLUORINATED SOURCE GAS

著者

和文:	T. Kamiya, K. Nakahata, K. Ro, C. M. Fortmann, I. Shimizu.
英文:	T. Kamiya, K. Nakahata, K. Ro, C. M. Fortmann, I. Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: