High rates and very low temperature fabrication of polycrystalline silicon from fluorinated source gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High rates and very low temperature fabrication of polycrystalline silicon from fluorinated source gas

著者

和文:	T. Kamiya, K. Nakahata, K. Ro, C. M. Fortmann, I. Shimizu.
英文:	T. Kamiya, K. Nakahata, K. Ro, C. M. Fortmann, I. Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

巻, 号, ページ

Vol. 557 pp. 513

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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