Microstructure and photovoltaic properties of low temperature polycrystalline silicon solar cells fabricated by VHF-GD CVD using fluorinated gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Microstructure and photovoltaic properties of low temperature polycrystalline silicon solar cells fabricated by VHF-GD CVD using fluorinated gas

著者

和文:	K. Ro, K. Nakahata, T. Kamiya, C.M. Fortmann, I. Shimizu.
英文:	K. Ro, K. Nakahata, T. Kamiya, C.M. Fortmann, I. Shimizu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Non-Crystalline Solids

巻, 号, ページ

Vol. 266-269 pp. 1088

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: