Control of Orientation for Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated from Fluorinated Source Gas

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Control of Orientation for Polycrystalline Silicon Thin Films Fabricated from Fluorinated Source Gas

著者

和文:	Kouichi NAKAHATA, Atsushi MIIDA, Toshio KAMIYA, Yoshiteru MAEDA, Charles Michael FORTMANN, Isamu SHIMIZU.
英文:	Kouichi NAKAHATA, Atsushi MIIDA, Toshio KAMIYA, Yoshiteru MAEDA, Charles Michael FORTMANN, Isamu SHIMIZU.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys. Lett.,

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 9AB pp. 1026

出版年月

1998年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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