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論文・著書情報


タイトル
和文:ダイヤモンド膜上への圧電体膜の合成 
英文: 
著者
和文: 森　義博, 平田　敦, 戸倉　和, 吉川昌範.  
英文: 森　義博, 平田　敦, 戸倉　和, 吉川昌範.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文:Journal of the Japan Society for Precision Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 62    No. 12    pp. 1788-1789
出版年月 1996年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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