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論文・著書情報


タイトル
和文:複合荷電粒子ビーム法により合成したDLC膜の評価 
英文: 
著者
和文: 野口賢次, 平田 敦.  
英文: 野口賢次, 平田 敦.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 536
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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