Ion Beam Sputtering Deposition of Diamond-like Carbon Films Enhanced by Electron Beam Excited Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ion Beam Sputtering Deposition of Diamond-like Carbon Films Enhanced by Electron Beam Excited Plasma

著者

和文:	Atsushi Hirata, Masanori Yoshikawa.
英文:	Atsushi Hirata, Masanori Yoshikawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of Applied Diamond Conference / Frontier Carbon Technology Joint Conference 1999

巻, 号, ページ

pp. 243-246

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: