Nanometric aperture arrays fabricated by wet and dry etching of silicon for near-field optical storage application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanometric aperture arrays fabricated by wet and dry etching of silicon for near-field optical storage application

著者

和文:	M. B. Lee, N. Atoda, K. Tsutsui, M. Ohtsu.
英文:	M. B. Lee, N. Atoda, K. Tsutsui, M. Ohtsu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. and Technol. B

巻, 号, ページ

No. Nov./Dec.

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: