無加熱・無加圧による超精密低エネルギー接合におよぼす表面粗さの影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	無加熱・無加圧による超精密低エネルギー接合におよぼす表面粗さの影響
英文:	Effect of surface roughness on the heatless and pressureless bonding for low-energy precise processing

著者

和文:	高橋邦夫.
英文:	KUNIO TAKAHASHI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	圧力技術
英文:	Journal of High Pressure Institute of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 35 No. 3 pp. 159

出版年月

1997年

出版者

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会議名称

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開催地

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