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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Electron Temperature, Density, and Metastable-Atom Density of Argon Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Discharged by 7.0, 8.0, and 9.4 GHz Microwaves 
著者
和文: 赤塚洋.  
英文: HIROSHI AKATSUKA.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Vac. Sci. Technol. A 
巻, 号, ページ Vol. 18    No. 5    pp. 2207
出版年月 2000年 
出版者
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会議名称
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開催地
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