薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第１報），－薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形－

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第１報），－薄膜金属ガラスの製作と過冷却液体域を利用した微細成形－
英文:	Fabrication of Micro Structures using Thin Film Metallic Glass - Fabrication of Thin Film Metallic Glass and Micro-Forming using the Supercooled Liquid State -

著者

和文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤　海二, 下河辺　明.
英文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤　海二, 下河辺　明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 1 pp. 96-101

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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