薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第２報），－薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作－

論文・著書情報

タイトル

和文:	薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作（第２報），－薄膜金属ガラス静電マイクロアクチュエータの提案と試作－
英文:	Fabrication of Micro Structures using Thin Film Metallic Glass - Proposal and Fabrication of a Micro Electrostatic Actuator of Thin Film Metallic Glass-

著者

和文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河辺明.
英文:	秦　誠一, 後藤　潤, 佐藤海二, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 2 pp. 287-291

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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