粗微動位置決め系の制御性能（４種類の制御法の位置決め性能比較）

論文・著書情報

タイトル

和文:	粗微動位置決め系の制御性能（４種類の制御法の位置決め性能比較）
英文:	Control and Performance of Two-Stage Positioning System (Comparison of Positioning Performances with Four Kinds of Control Mehtods)

著者

和文:	佐藤海二, 古屋学, 科野文男, 進士忠彦, 太刀川博之, 下河辺明.
英文:	佐藤海二, 古屋学, 科野文男, 進士忠彦, 太刀川博之, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会論文集（Ｃ編
英文:	Transactions of Japan Society of Mechanical Engineers Series C

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 643 pp. 885-892

出版年月

2000年

出版者

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会議名称

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開催地

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