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論文・著書情報


タイトル
和文:熱硬化性樹脂を用いた高解像度マイクロリソグラフィーの数値解析 
英文:Numerical Analysis of Thermo Regist Enhanced Optical Lithography 
著者
和文: 赤川悦太郎, 青木 繁, 天谷賢治.  
英文: 赤川悦太郎, 青木 繁, 天谷賢治.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会第13回計算力学講演会講演論文集No.00-17 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 653-654
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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