A cylindrical shaped micro ultrasonic motor utilizing PZT thin film (1.4mm in diameter and 5.0 mm long stator transducer)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A cylindrical shaped micro ultrasonic motor utilizing PZT thin film (1.4mm in diameter and 5.0 mm long stator transducer)

著者

和文:	T. Morita, M. K. Kurosawa, T. Higuchi .
英文:	T. Morita, M. K. Kurosawa, T. Higuchi .

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Sensors and Actuators A

巻, 号, ページ

Vol. 83 pp. 225-230

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: