Development of low energy plasma testing method for analyzing acceleration mechanism of oxidation by exited oxygen

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of low energy plasma testing method for analyzing acceleration mechanism of oxidation by exited oxygen

著者

和文:	Tei Saburi, Kiyoshi Kiuchi, Satoshi Ueda, Yasuhiko Fujii.
英文:	Tei Saburi, Kiyoshi Kiuchi, Satoshi Ueda, Yasuhiko Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 17th symp. plasma processing

巻, 号, ページ

pp. 475-478

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: