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論文・著書情報


タイトル
和文:高電圧・短パルス電圧印加によるイオン注入 
英文:Plasma Source Ion Implantation Using High-voltage Fast Pulse Power Generator 
著者
和文: 冨澤　浩, 中島充夫, 堀岡一彦.  
英文: 冨澤　浩, 中島充夫, 堀岡一彦.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会パルスパワー研究会 
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巻, 号, ページ Vol. PPT    No. 00-28-34    pp. 21
出版年月 2000年 
出版者
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会議名称
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開催地
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