電子ビーム励起プラズマ援用イオンビームスパッタリング法によるダイヤモンドライクカーボン膜の気相合成 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子ビーム励起プラズマ援用イオンビームスパッタリング法によるダイヤモンドライクカーボン膜の気相合成
英文:

著者

和文:	真下尚洋, 野口賢次, 吉川昌範, 平田　敦.
英文:	真下尚洋, 野口賢次, 吉川昌範, 平田　敦.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 66 No. 10 pp. 1621-1625

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.