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論文・著書情報


タイトル
和文:方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応による高段差被覆性シリコン酸化膜の形成 
英文: 
著者
和文: 石丸和博, 岡崎健.  
英文: 石丸和博, 岡崎健.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集(B編) 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 65    No. 639    pp. 3814-3820
出版年月 1999年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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