Contribution of Free Electrons to Al CVD on a Si Surface by Photo-Excitation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Contribution of Free Electrons to Al CVD on a Si Surface by Photo-Excitation

著者

和文:	K. Masu, M. Yokoyama, H. Matsuhashi, K. Tsubouchi.
英文:	K. Masu, M. Yokoyama, H. Matsuhashi, K. Tsubouchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Surface Science

巻, 号, ページ

Vol. 79/80 pp. 237-243

出版年月

1994年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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