Crystalographic Structures and Parasitic Resistance for fully Self-Aligned Metallization Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystalographic Structures and Parasitic Resistance for fully Self-Aligned Metallization Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor

著者

和文:	C. H. Lee, T. Nishimura, H. Matsuhashi, M. Yokoyama, K. Masu, K. Tsubouchi.
英文:	C. H. Lee, T. Nishimura, H. Matsuhashi, M. Yokoyama, K. Masu, K. Tsubouchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 38 No. 10 pp. 5835-5338

出版年月

1999年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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