Dimension-Temperature Combination Scaling for Low-Temperature 0.1μm CMOS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dimension-Temperature Combination Scaling for Low-Temperature 0.1μm CMOS

著者

和文:	K. Masu, M. Yokoyama, K. Tsubouchi.
英文:	K. Masu, M. Yokoyama, K. Tsubouchi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Device and Multilevel Interconnection Technology, Part of SPIE's Microelectronic Manufacturing '95 Symposium

巻, 号, ページ

pp. 62-73

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: