電子エネルギー分布関数によるアルゴンプラズマの分光学的特性への影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子エネルギー分布関数によるアルゴンプラズマの分光学的特性への影響
英文:	Effect of Electron Energy Distribution Function on Spectroscopic Characteristics of Argon Plasmas

著者

和文:	赤塚　洋, 柏崎良之.
英文:	赤塚　洋, 柏崎良之.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	プラズマ科学シンポジウム2001・第18回プラズマプロセシング研究会(PSS-2001/SPP-18)プロシーディングス
英文:	Proc. Plasma Science Symposium 2001/ the 18th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 359

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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