Spectroscopic Study on a State of Non-Equilibrium of a Microwave Discharge Nitrogen Plasma Electron, Vibration, and Rotationla Temperatures vs. Discharge Pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Spectroscopic Study on a State of Non-Equilibrium of a Microwave Discharge Nitrogen Plasma Electron, Vibration, and Rotationla Temperatures vs. Discharge Pressure

著者

和文:	S. Koike, H. Kobori, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	S. Koike, H. Kobori, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 15th Intl. Symp. on Plasma Chemistry

巻, 号, ページ

pp. 2099

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: