Effect of the Ammonium Radical Irradiation on the Electrical Properties of Zinc Oxide Thin Film Prepared Ion Beam Sputtering Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of the Ammonium Radical Irradiation on the Electrical Properties of Zinc Oxide Thin Film Prepared Ion Beam Sputtering Method

著者

和文:	T. OHGAKI, N. OHASHI, S. WADA, I. SAKAGUCHI, H. HANEDA, T. TSURUMI.
英文:	T. OHGAKI, N. OHASHI, S. WADA, I. SAKAGUCHI, H. HANEDA, T. TSURUMI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Transaction of the Materials Research Society of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 26 No. 1

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: