Effect of discharge microwave frequency on electron temperature of electron cyclotron resonance plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of discharge microwave frequency on electron temperature of electron cyclotron resonance plasma

著者

和文:	Y. Kawai, T. Suzuki, T. Saburi, Y. Fujii.
英文:	Y. Kawai, T. Suzuki, T. Saburi, Y. Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Review Sci. Instrum.

巻, 号, ページ

Vol. 72 pp. 1666-1667

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: