New Positive Working Alkaline Developable Photoresist Based on a Simple Amorphous Molecule, Tris(3,5-di-tert-butoxycarbonyl  -oxybenzyl) 1,3,5-benzenetricarboxylate and a Photoacid Generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	New Positive Working Alkaline Developable Photoresist Based on a Simple Amorphous Molecule, Tris(3,5-di-tert-butoxycarbonyl -oxybenzyl) 1,3,5-benzenetricarboxylate and a Photoacid Generator

著者

和文:	T. Fujigaya, Y. Shibasaki, M. Ueda.
英文:	T. Fujigaya, Y. Shibasaki, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Photopolym. Sci. &. Tech.

巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 275-280

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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