A Micro ER Valve Fabricated by Micromachining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Micro ER Valve Fabricated by Micromachining

著者

和文:	K. Yoshida, M. Kikuchi, J.-H. Park, S. Yokota.
英文:	K. Yoshida, M. Kikuchi, J.-H. Park, S. Yokota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest 14th IEEE Int. Conf. Micro Elecro Mechanical Systems (MEMS 2001)

巻, 号, ページ

pp. 467-470

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
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