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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Comparison of Gas-phase Reaction in Low-temperature Growth of Si Films by Photochemical Vapor Deposition and the Hot Wire Cell Method 
著者
和文: Katsuya ABE, Takeshi TUSHIMA, Mitsuru ICHIKAWA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
英文: Katsuya ABE, Takeshi TUSHIMA, Mitsuru ICHIKAWA, Akira YAMADA, Makoto KONAGAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:J. Non-Crystalline Solids 
巻, 号, ページ Vol. 266-269        pp. 105-109
出版年月 2000年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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