Improvement in Aspect Ratio of p-GaAs Oxide Fabricated by Atomic Force Microscope (AFM)-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Improvement in Aspect Ratio of p-GaAs Oxide Fabricated by Atomic Force Microscope (AFM)-Based Nanolithography Using Pulsed Voltage

著者

和文:	Yuichi Matsuzaki, Shigeki Hasui, Shin-ya Kamada, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Yuichi Matsuzaki, Shigeki Hasui, Shin-ya Kamada, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 40 No. 6B pp. 4325-4327

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: