Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films Grown by Hot Wire Cell Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of Low Temperature Epitaxial Si and Si_1-yC_y Films Grown by Hot Wire Cell Method

著者

和文:	T.Watahiki, K.Abe, H.Tamura, S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.
英文:	T.Watahiki, K.Abe, H.Tamura, S.Miyajima, A.Yamada, M.Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	European Material Research Society 2001 Spring Meeting

巻, 号, ページ

pp. D-22

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: