マイクロマシン技術を用いたLSIテスト用微細プローブ・ピンの開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロマシン技術を用いたLSIテスト用微細プローブ・ピンの開発
英文:

著者

和文:	蛸島武尚, 奈良崎亘, 和田晃一, 北爪秀憲, 本山慎一, 柳　永勛, 江刺正喜, 秦　誠一, 下河辺明.
英文:	蛸島武尚, 奈良崎亘, 和田晃一, 北爪秀憲, 本山慎一, 柳　永勛, 江刺正喜, 秦　誠一, 下河辺明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成13年電気学会全国大会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1078

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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