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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜金属ガラスによるマイクロ構造体の製作とその応用 
英文: 
著者
和文: 下河辺明, 秦　誠一, 劉　永東.  
英文: 下河辺明, 秦　誠一, 劉　永東.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:東京工業大学精密工学研究所第３４回シンポジウム「Micro/Nano Mechano Systems」講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 33-42
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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