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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:High Quality La┣D22┫D2O┣D23┫D2 Films for High-k Gate Insulator 
著者
和文: S.Ohmi, C. Kobayashi, K. Aizawa, S. Yamamoto, E. Tokumitsu, H. Ishiwara, H.Iwai.  
英文: S.Ohmi, C. Kobayashi, K. Aizawa, S. Yamamoto, E. Tokumitsu, H. Ishiwara, H.Iwai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:31st European Solid-State Device Research Conference 
巻, 号, ページ         pp. 235-238
出版年月 2001年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 

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