超高真空電子ビーム蒸着法により堆積した高誘電率材料ZrO<sub>2</sub>膜の特性 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	超高真空電子ビーム蒸着法により堆積した高誘電率材料ZrO₂膜の特性
英文:

著者

和文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.
英文:	大島享介, 大見俊一郎, 徳光永輔, 岩井洋, 石原宏.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第４８回応用物理学関係連合講演会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2

出版年月

2001年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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